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俄歇电子能谱仪
俄歇电子能谱仪
型号:PHI 660
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简称:XPS
厂商:美国·Physical electronics 公司
所在单位:厦门大学分析测试中心   单位简介
  仪器介绍

  美国Physical electronics 公司PHI 660扫描俄歇微探针主要用于固体材料的成份特别是微纳区域的的表面与结构分析(线扫描,面扫描,深度剖析,成像)。

  主要配置及技术指标:

  真空断裂台;原位加热冷却台

  检测范围:原子序数大于He的所有元素;

  检测极限:0.1 at%

  信息深度:0.5~5 nm

  空间分辨率:25 nm

  能量分辨率≤0.3%

  半定量:相对原子灵敏度因子法

 

设备链接:http://atc.xmu.edu.cn/s/57/t/194/a/49320/info.jspy
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