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X射线扫描微探针电子能谱仪
X射线扫描微探针电子能谱仪
型号:Quantum 2000型
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简称:XPS
厂商:美国·Physical electronics 公司
所在单位:厦门大学分析测试中心   单位简介
  仪器介绍

  美国Physical electronics 公司Quantum 2000型 X射线扫描微探针电子能谱仪,具有先进的自动电中和功能,可消除非导体样品的荷电位移影响;仪器同时具有角分辩XPS功能及氩离子深度剖析功能;具有元素影像扫描功能;通过仪器附带的SPS工作台,可方便进行样品元素的化学微区分析(100~200µm)。检测固体材料表面或纵深方向的元素组成及分布,通过元素结合能位置了解元素化学状态或键合状态。任何固体样品均可,但不得具有磁性、毒性、辐射性及易挥发性。

  主要配置及技术指标:

  软件:Compass工作软件,Multipak数据处理软件;

  附有氩离子枪,可进行样品表面清洁及深度剖析;

  附有SPS样品精密定位台,可方便进行样品元素的化学微区分析;

  X-ray光源:Al阳极靶,扫描式单色器;

  束斑:10µm~200µm,一般100µm~200µm;

  能量分析仪:180º半球形分析器+16通道检测器,

  基础真空:<5×10-10 torr

  检测范围:原子序数大于He的所有元素;

  检测极限:0.5-0.01 atomic%

  信息深度:0.5~7.5 nm

  能量分辨率:优于0.5eV(Ag);

  空间分辨率:优于10µm

  半定量:相对原子灵敏度因子法

 

设备链接:http://atc.xmu.edu.cn/s/57/t/194/a/49321/info.jspy
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