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INCA X-射线能谱仪
INCA  X-射线能谱仪
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简称:XPS
厂商:Oxford (英国牛津公司)
所在单位:中山大学测试中心   单位简介
  仪器介绍

  主要技术指标:

  能量扫描范围:1-1100 eV

  最佳能量分辨率:≤0.45 eV (XPS)、100 meV (UPS)

  最佳空间分辨率:≤3 μm (X射线光电子成像)

  最佳灵敏度:1,000,000 cps (Mono XPS, Ag标样3d5/2峰)

  分析室最佳真空度:优于2×10-10 mbar

  快速进样室最佳真空度:7×10-9 mbar

  分析室工作时的真空度:~2×10-9 mbar(打开X射线源的情况下)

  生产厂家:Thermo-VG Scientific

  应用范围:

  光电子能谱是研究材料表面和界面电子及原子结构的最重要手段之一,可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息;可对非均相覆盖层(如薄膜)进行深度分布分析,了解元素随深度分布的情况;可对元素及其化学态进行成像,给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像;还可利用UPS(紫外光电子能谱)研究固体样品的价电子和能带结构及功函数。广泛应用于固体物理学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、材料科学、微电子技术及薄膜研究。

  送样要求:

  1.样品在超高真空下必须稳定,无腐蚀性,无磁性,无挥发性

  2.样品须为固态样品(片状、块状或粉末)

  块状样品尽量小(1×1× 2 mm 3,高度不可超过 2 mm );

  粗颗粒粉末样品须用研钵将样品研细;

  高分子样品在送样前须进行干燥处理

  3.在样品的保存和传送过程中应尽量避免样品表面被污染,不可用手触摸样品表面

设备链接:http://iarc.sysu.edu.cn/productinfo/detail_4_84_82.aspx
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