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X射线光电子能谱(XPS)
X射线光电子能谱(XPS)
型号:X射线光电子能谱(XPS)
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简称:XPS
所在单位:清华大学分析中心   单位简介
  仪器介绍

 

  X射线光电子能谱是一种表面化学分析技术,它可被用来分析材料表面的元素组成,元素化学价态和电子态,是应用最为广泛的表面分析技术。

  指标及其参数

  极限真空 ≤6.7×10-8Pa.

  最小X射线束斑尺寸 ≤9 μm

  极限能量分辨率 ≤ 0.5 eV

  FWHM on Ag 3d 5/2

  最高灵敏度≥3,000,000cps

  on Ag3d 5/2 at≤1.3 eV FWHM

  X射线扫描宽度 in X and Y

  up to 1.2mm

  离子枪电压 0-0.5 kV

  应用

  元素成分分析

  化学态(元素价态)分析

  电子态分析

  深度剖析,表面元素分布像,角度XPS

  X射线光电子能谱广泛应用于材料科学,生物科学以及其他领域。


 

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